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濕式蝕刻機
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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理
它包含了將材質整面均勻移除及圖案選擇性部分去除,可分為濕式刻蝕(wet etching)和乾式刻蝕(dry etching)兩種技術。 細說等離子體清洗機與物體表面的反應.
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