機台之配置因考量操作區潔淨度等級之差異,因此分割為四個工作. 區,分別是:爐管前清洗區、光阻區、2 個濕式蝕刻區。總計為10 個. 化學槽。有別於Class 10 之化學清洗蝕刻 ...
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