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CMOS MEMS 氣體感測器 - 台灣儀器科技研究中心

理，並呈現本研究團隊以CMOS MEMS 技術所製作之濕度感測器與ㄧ氧化碳感測器晶片。這兩種感測器 ... 研究團隊利用此機制製作濕度感測. 器與 ... 三、氣體感測器之種類.

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