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溼度感測技術與手機整合應用之概論 - 材料世界網

此感測格式不但有助提高感測元件之感測特性，還可達到融合互補性氧化金屬半導體-微機電(CMOS MEMS)製程之單晶片次系統元件之目的，以有效地縮小溼度感測模 ...

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