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人類史上最精密的設備！全世界半導體產業都靠它？｜志祺七七

不過，當時台積電的研發副總經理林本堅，就與荷蘭的ASML公司，共同研發出「浸潤式微影」技術，把原先193奈米設備的鏡頭，浸到水裡。

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