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深次微米矽製程技術 - 第 24 頁 - Google 圖書結果

... m Cymer 9 準分子雷射 KrF 18 时,掃描 10.18 ~ 0.15 pm | 248 nm | 104 片/小時先導( ASML )漢民代理 10.15 ~ 0.13 pm ,消息时, 18 ArF 193 nm 折射投影色差 CaF .

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