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高精度位移平台篇 - 和全豐光電

關鍵字：線性馬達、搭載光學尺、與滾珠螺桿差異 ... 滾珠螺桿行程長則會有下垂的問題，線性馬達因為直接驅動所以沒有背隙的 ... 滾珠螺桿平台缺點：.

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