规格. • 洁净度控制:ISO Class 1. • 温度控制精度: ±0.1℃ ~ ±0.01℃. • 湿度控制精度:±2%RH ~ ±0.5%RH. • 机台内建温湿度曲线数据. • 机台警报、远程监测及自动防护 ...
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