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指為灌溉或排水而挖的水道的統稱。一種淺溝渠隔離結構的製造 ...

一種淺溝渠隔離結構的製造方法，於一基底上依序形成墊氧化層、罩幕層、介電抗反射塗布層與頂蓋氧化層，然後於基底中形成一溝渠。隨後以罩幕層作為研磨終點，以使用光學終點 ...

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