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電磁耦合感測技術應用於導電膜之非接觸阻抗量測 - AOIEA

薄膜的特性，但其設備與器材相比於渦電流感測技術較為昂貴與複雜。 近十年來，電磁耦合檢測技術常運用於金屬樣本的導電率與導磁率、量測金屬塗層的厚度[3]-[9]，.

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