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寬能隙製程難度高、層層都珍貴！「非破壞式檢測」受青睞

研討會主持人磊拓科技總經理李文中統整，SiC 原子差距大，製程控制相較於傳統矽基元件難得多。其中，材料品質影響甚鉅，而目前對缺陷(defect) 的認識還在 ...

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