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渦電流檢測厚度
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渦電流探頭 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:渦電流; 巨磁阻; 通量閘; 非接觸量測. 本計畫將探討適用於金屬薄膜厚度量測與缺陷檢測之微型渦電流感測器設計與製造方法,建立高解析度渦電流掃描系統。
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