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渦流原理
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http://quartetmechanics.com/QM2014/HTML/download/QM-datasheet-Vortex-Grip-EndEffector-T-2016-06.pdf
智慧型渦流及邊緣夾持晶圓末端執行器
我們在2007年發展出以渦流原理製成之末端. 執行器(Vortex Endeffector)來處理各類晶. 圓,包括薄片或穿孔晶圓。 我們的旋渦末端執. 行器有一個光學感.
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