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前研發大將林本堅：台積電採浸潤式微影超車英特爾 - 中央社

清大 半導體研究學院今天揭牌，台積電前研發副總經理林本堅擔任院長，他透露，英特爾2002年曾組EUV聯盟，台積電無法參加，改採浸潤式微影技術， ...

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