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【林本堅專訪1】清大半導體學院奈材中心揭密

「浸潤式微影之父」林本堅自台積電退休後就在清大任教，去年在清大校長賀陳弘邀請下，出任清大半導體學院院長，「我在半導體、微影領域裡面差不多累積50年 ...

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