... 淺溝槽隔離( STI ) n # p 井淺溝槽隔離( STI )接觸多晶矽鋁矽化物圖 6.3 六層銅導線的結構示意圖(資料來源:劉富台,電子月刊)銅內連線製程的步驟,大致如下: 1.
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