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淺溝槽隔離sti
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半导体中的STI是什么意思_作业帮
半导体中的STI是什么意思. ... 浅沟道隔离特点: 能实现高密度的隔离,适合于深亚微米器件 ... 刻蚀在场区形成浅的沟槽.然后,进行场区注入,再用CVD淀积SiO2填充沟槽.
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「淺溝槽隔離sti」
的人也找了:
Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
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STI liner oxide
STI 製 成
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STI 淺 溝 槽 絕緣