以化學機械研磨技術進行溝渠隔離氧化矽之回蝕面臨相當嚴苛的製程要求。 ... 淺溝槽隔離(Shallow Trench Isolation或STI) 傳統習用的LOCOS隔離法由於鳥嘴(bird掇beak) ...
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