工艺模块文章目录工艺模块隔离LOCOS 隔离STI 浅槽隔离STI 制造流程完成图隔离因为第一 ... 的工艺流程首先是外延沉积多个Si/SiGe层,并形成和填充浅沟隔离(STI)模块。
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