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淺溝槽隔離sti
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直接的浅沟槽隔离器件CMP技术在集成电路高压器件芯片制造 ...
本文就是在常规的浅沟槽隔离(STI)工艺基础上开发了一种新技术:直接的浅沟槽隔离(DSTI)工艺。这种技术通过使用一种高选择比的研磨剂,能够在不用反转光刻 ...
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「淺溝槽隔離sti」
的人也找了:
Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
OD STI
STI liner oxide
STI 製 成
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STI 淺 溝 槽 絕緣