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淺溝槽隔離sti
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半導體溝道是什麼意思 - 上海市有色金属学堂
淺溝 道隔離來特點: ... STI技術工藝步驟:首先,類似LOCOS,依次生長SiO2淀積Si3N4塗敷光刻膠, ... 然後,進行場區注入,再用CVD淀積SiO2填充溝槽。
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
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