在这里我们介绍的是一种叫做STI(Shallow Trench Isolation)的技术。 ... 将抗蚀剂图案作为掩模,通过蚀刻氮化硅膜、氧化硅膜、硅晶片以切割浅沟槽。当浅沟槽被切割 ...
確定! 回上一頁