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淺溝槽隔離sti
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創新STI蝕刻技術助攻20奈米製程良率大增 - 新電子
... 奈米後,晶圓溝槽輪廓的深寬比和形狀均勻度變得極為重要,即便是些微的變異都會對良率造成不可忽視的影響,因此業界已開發出新的淺溝槽隔離(STI) ...
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
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STI 淺 溝 槽 絕緣