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淺溝槽隔離sti
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創新STI蝕刻技術助攻20nm製程良率大增 - 每日頭條
淺溝槽隔離 (STI)是現今半導體製程中常見的元件隔離技術。為達到最佳的電晶體效能及生產良率,臨界尺度(CD)及溝槽深度須嚴密控制,當電晶體尺寸縮小 ...
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
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sti淺溝槽絕緣
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