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淺溝槽隔離sti
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一种双浅沟槽隔离形成方法 - X技术
它的缺点主要是工艺成本更贵,更复杂。但是和它的优点相比, 成本的增加是可以接受的。因此,在〇. 25 ym及以下的工艺,都使用STI隔离在集成电路制造工艺流程里,浅沟槽 ...
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
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