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淺溝槽隔離sti
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浅槽隔离 - 中国大百科全书
由于集成电路集成密度要求日益提高,以刻蚀隔离沟槽再填充绝缘介质层为特征的STI技术逐渐成为工艺主流。 常见的浅槽隔离工艺如图所示。
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
OD STI
STI liner oxide
STI 製 成
sti技術
STI 淺 溝 槽 絕緣