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淺溝槽隔離sti
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分子结构在调节浅沟槽隔离(STI)化学机械平面化(CMP ...
随着特征尺寸继续缩小到远远超过7 nm节点,了解化学机械平面化(CMP)工艺中存在的微妙平衡至关重要。为了实现高产量和无缺陷的CMP工艺, ...
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「淺溝槽隔離sti」
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Shallow trench isolation
淺溝槽隔離層
sti淺溝槽絕緣
OD STI
STI liner oxide
STI 製 成
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STI 淺 溝 槽 絕緣