幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收,因此,EUV光刻機的光學系統只有使用反光鏡。 極紫外光刻的實際套用比原先估計的將近晚了10多年。 概述. EUV光刻 ...
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