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中国造出首台自主新式光刻机，未来可造10nm芯片

中科院光电技术研究所项目副总师胡松透露，新验收的光刻机，加工能力介于深紫外级和极紫外级之间，使用了365纳米紫外光的汞灯，一只费用仅为数万元， ...

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