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深紫外光機
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情報ASML首席技術長認為當前曝光技術可能已經快要走到盡頭
去年ASML兩次提高了生產目標,希望到2025年,其年出貨量能達到約600台DUV(深紫外光)曝光機以及90台EUV(極紫外光)曝光機。由於持續的晶片短缺 ...
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