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深紫外光機
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EUV能解決DRAM 1znm瑕疵嗎?
極紫外光(EUV)是基於深紫外光(DUV)升級的最新一代光刻機設備。隨著半導體製程微縮走向極限,EUV光刻機設備成為焦點。EUV的作用在於,可繼續壓榨電晶體 ...
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