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深紫外光機
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https://www.163.com/dy/article/GB1F8BN70531SG98.html
国产深紫外光刻机即将下线,国内院士却罕见发声
... 光刻机市场却被ASML独占,其研发的DUV光刻机和EUV光刻机几乎占领了市场。 据悉,DUV光刻机是深紫外光刻机,其可以用于生产制造7nm以上制程的芯片,而EUV光 ...
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