你即將離開本站

並前往https://patents.google.com/patent/TWI708114B/zh

TWI708114B - 極紫外光光罩及其製造方法

舉例來說，用於微影的輻射波長已經變小，從紫外光到深紫外光(Deep ultraviolet，DUV)，以及最近的極紫外光(EUV)。元件尺寸的進一步減小需要進一步提高微影的解析度，這可以 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「深紫外光機」的人也找了：

  1. 深紫外光刻機
    2.
  2. 極紫外光機價格
    3.
  3. euv duv是什麼
    4.
  4. duv光刻機
    5.
  5. 深紫外光波長
    6.
  6. 深紫外光duv
    7.
  7. euv曝光機
    8.
  8. euv極紫外光
    9.