EUV 工具(EUV 光刻機)具有激光驅動的錫(Sn) 等離子體光源、包括多層鏡的反射 ... EUVL 與深紫外光刻標準有很大不同。所有材料都會吸收EUV 輻射。因此,EUV光刻需要 ...
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