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ASML一個早餐的故事☕️｜從高壓汞燈到EUV極紫外光☄️

#DUV深紫外光 為了追求更小的線寬，ASML微影設備改採用深紫外光 (DUV, deep UV)的氣體準分子雷射作為光源，從Kr-F ... (248nm)到Ar-F ... (193nm)，一路往更短 ...

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