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https://technews.tw/2021/02/15/euv-mass-production-of-lithography-technology/
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
EUV 光的產生是用二氧化碳雷射每秒5 萬次去轟擊液態錫滴。出來的EUV 光通過一個直徑為0.65 公尺的橢球反光鏡送進微影機台裡頭。錫滴位於橢球反光 ...
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