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刻蝕技術中的相關概念 - 每日頭條

一、刻蝕速率習慣上把單位時間內去除材料的厚度定義為刻蝕速率。 ... 表3給出兩種刻蝕機型對矽刻蝕的深寬比，Rapier表現出優異的深矽刻蝕能力。

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