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深寬比定義
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3D IC TSV製程技術簡介 - 材料世界網
由於TSV為高深寬比的孔洞結構,不同於以往半導體的孔洞尺寸,本文將 ... 首先利用黃光製程定義出圖形,接續使用深離子蝕刻技術(DRIE)蝕刻出TSV的 ...
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「深寬比定義」
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