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薄膜材料技術

1μm、寬0.5μm，深寬比約2：1。(b)與左圖有相. 同製程條件的試片，via最底層明顯 ... 圖中各層的半波高來定義各層之間厚度， ... 表面，並均勻填滿深寬比約3：1的via。

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