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化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition) - PDF4PRO

具有充填高深寬比間隙之能力. ◇好的厚度均勻性 ... 深寬比= 500 Å. 250 Å. 深寬比= 深度. 寬度 ... 定義：壓力接近常壓下進行CVD反應的一種沉積方式。

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