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第二章文獻回顧

300 nm，受限於線寬定義的能力，因此以現在常用的黃光微影技術，無法定義 ... nm，深寬比25:1 的奈米柱陣列，如圖2-1 所示。 ... 寬比達到25：1 之矽質奈米柱。

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