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深寬比定義
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原子層沉積系統原理及其應用
TiN 薄膜均勻地覆蓋在25:1 高深寬比的深溝渠內。 反應依然符合自我限制的沉積過程。大致上而言,. 多數原子層沉積(ALD) 的工作溫度約300 ...
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