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王晓浩团队综述高端光刻机光栅定位与套刻测量技术发展

清华新闻网6月13日电 近日，基于对光栅衍射及其在超高精度干涉测距与成像应用的深入研究，清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授、王晓浩研究员团队 ...

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