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應用獨立成份分析法於薄膜電晶體液晶顯示面板之製程監控 ...

透過對關鍵製程參數的監測能夠於製程中即時有效的提升良率與避免材料的浪費。本研究導入獨立成分分析於TFT面板之製程參數變異偵測，偵測對象選定為總斜度變異量，總斜 ...

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