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非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器製造

自1885 年發現液晶材料以來，延至1972 年a-. Si:H TFT LCD (hydrogenated ... 參數均會影響到薄膜沈積速率、成份比、均勻性、. 蝕刻率及內應力等性質。以下將針對TFT 製程.

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