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原子層沉積製程技術於能源材料之應用

kg、液化天然氣：54.4 MJ/kg(2))，經燃燒後之副產物為水，為一乾淨且具有潛力的 ... 由上述ALD 基本的製程原理得知，ALD 具有極佳的取向性、均勻性且厚度能在奈米尺.

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