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浸潤式微影技術原理
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EUV 極紫外光!一個你應該知道與台積電相關的技術 - 股感
新聞常在報的五奈米、三奈米先進製程、EUV微影技術等等, ... 紫外光經過光罩後,利用各種光學原理將光束射在晶圓上,就可以在上面刻出精細的電路圖了 ...
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「浸潤式微影技術原理」
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