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浸潤式微影技術原理
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第一章、簡介
其中奈米轉印微影(NIL)技術,近幾年發展迅速,且已有量產機台。 其原理是將所需要的圖形,先以電子束蝕刻技術製作於模仁(Mold)上,. 於基 ...
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