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浸潤式微影技術原理
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360°科技-浸潤式微影 - DigiTimes
過去乾式曝光顯影是在無塵室中,以空氣為媒介進行,透過光罩在晶圓上顯影;而浸潤式微影(immersion lithography)則是以水為透鏡,在晶圓與光源間注入純水, ...
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