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浸潤式微影原理
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浸潤式微影與EUV技術| IC之音竹科廣播FM97.5
這種「加了水」的微影技術,就叫做浸潤式微影技術。因為光的波長縮短到134奈米,比157奈米更短,搭配其他技術,可以順利做出40奈米的線寬;跟65奈米 ...
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「浸潤式微影原理」
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